Imagingperformance相关论文
通过分析可见光成像系统成像性能评价体系,提出引入小最可分辨对比度MRC 这个评价指标,并与调制传递函数MTF共同来评价可见光成像系......
16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33......